光刻机的Deepseek时刻。
中国在竞争中超越阿斯麦（ASML）。
激光诱导放电等离子体（LDP）极紫外（EUV）技术商业化的推进，对光刻领域来说是一个让我曾深感担忧的“Deepseek”
LDP比阿斯麦所采用的激光产生等离子体（LPP）技术效率要高得多。LDP将少量锡气化成两个电极之间的一团云雾，然后利用高电压将锡蒸气转化为等离子体。电子与锡离子碰撞，产生13.5纳米的极紫外光。而LPP需要高能激光和复杂的现场可编程门阵列（FPGA）实时控制电子设备。
LDP方法更简单、更小巧、更具成本效益，且能源效率更高。
附件是LDP产生方法与LPP的对比。
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苍海流星
据说ldp光源功率太小，不适合大批量生产需求