9月9日，工信部发文披露，我们的氟化氩光刻机具有65纳米以下的分辨率和8纳米以下的套刻精度。
结果，很多人看到“套刻≤8nm”，就认为中国已经搞定了8nm级别的光刻机了，开始欢呼雀跃。
其实吧，这事只是个乌龙而已。虽然这次的氟化氩光刻机并不先进，但其实意义还是很大的......
这篇文章字太多，大概4000字，需要完整版的读者通过链接加我看全文。
9月9日，工信部发文披露，我们的氟化氩光刻机具有65纳米以下的分辨率和8纳米以下
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