成熟制程大局已定工信部官宣DUV光刻机，从分辨率这里看，65纳米貌似比较可比

成熟制程大局已定工信部官宣DUV光刻机，从分辨率这里看，65纳米貌似比较可比的是阿斯麦的干式TWINSCAN XT:1460K系列。工信部推出的基本上不光是跑完测试，而是通过数年调试已经可以大规模量产的机器。背景是美日对中国制裁的加码： 2023年，日本限制23种先进半导体设备及零部件出口。这次是配合美国的又一次行动，我们针对日本放了狠话，又官宣了国产光刻机。 2024年9月，日本针对中国新增加5项出口管制：CMOS、扫描电子显微镜、量子计算机、生成多层GDSⅡ数据的程序、GAAFET技术。