光刻机,芯片制造过程中最为关键的设备之一。光刻机的精度与质量,直接决定着芯片的性能、质量和生产效率,对于一个国家的半导体产业起到了至关重要的作用。由于光刻机制造难度极高,全球能生产光刻机的企业屈指可数,荷兰的ASML、日本的尼康、佳能,我国的上海微电子。
不可否认,荷兰ASML是光刻机这一金字塔最顶尖的企业,在高端EUV光刻机领域形成了绝对垄断优势,中高端DUV光刻机市场ASML依旧有很高的话语权,不过并没有形成垄断局势,日本的尼康、佳能也有部分市场份额。
由于ASML光刻机包含了大量美技术与专利,日本又是老美的“盟友”,随着中美芯片战愈演愈烈,老美却联合荷兰、日本达成三方协议,限制14nm芯片制造相关设备的自由出货。起初迫于我国巨大的市场,荷兰、日本表示会采取“温和”的措施,不会跟随美脚步肆意断供。
日本丝毫不顾忌断供后果,率先宣布对23种芯片制造设备进行出口管制,这些设备几乎涵盖了光刻、蚀刻、测试、清洗、测量等整个产业链。几乎没有为自己留任何后路,正是如此,我国针对日本断供一事提出了严正交涉并向世贸组织提起了诉讼。
荷兰则不同,虽然迫于压力决定针对先进DUV光刻机型号进行出口管制,但荷兰却表示依旧能够对中国出货一些型号较旧的DUV光刻机,1980Di,虽然单次曝光仅有38nm,但多重曝光下却能得到7nm工艺芯片,不会影响大陆成熟工艺芯片产能。
不仅如此,当台积电取消28nm相关设备订单后,荷兰ASML还对中国亮明了态度:可以增加中国光刻机供货量,保证中国厂商的供应,有消息称对中国供货的光刻机数量将超过100台。
针对荷兰、ASML的表态,一些日本媒体则突然表示:我们上当了!为什么这样说呢?
首先,面对老美的禁令,许多厂家一直在尝试“绕过”禁令。比如英伟达,当H100、A100高性能芯片无法出货时,针对中国市场推出了特供版的A800芯片。荷兰ASML也对DUV光刻机进行了区分,保留了较为落后,但能出货的型号。英特尔、高通、AMD、微软等美国本土巨头,此前虽然被迫终止了与华为的合作,但多次申请下都重新获得了对华为的供货许可,反观日本企业只能干瞪眼。
其次,经常关注芯片行业动态的网友或许还记得,在美日荷三方协议出台之前,为摆脱对ASML的依赖,上海积塔半导体对外宣布了一份光刻机中标名单,尼康、京东电子分别中标了一台光刻机、一台涂胶显影设备,剩余都是国产设备,荷兰ASML颗粒无收。数据显示,日本半导体对华出口占比高达40%左右,并且许多采用的是垂直一体化生产模式,技术独立自主,不容易受到美科技霸权的影响,更容易在中美科技竞争中偷偷发大财。
另外,日本在半导体材料方面有着极高的话语权,尤其是四大核心材料硅片、光刻胶、电子特气、掩膜胶占据着60%的市场占比;19种主要材料日本有14种材料市场份额占比超过50%。这些完全能成为日本争取出货自由、牵制老美科技霸权的条件,但日本却紧跟老美脚步,不给自己留后路,将机会留给了竞争对手!
上世纪80年代,日本在光刻机领域形成了绝对的垄断优势,尼康一家就占据了50%的市场,佳能次之,ASML只能在夹缝中求生存。在台积电林本坚提出“浸润式光刻机”方案后,美联合一众美资本押注浸润式光刻机和ASML,并将日本排除在外,最终ASML成为光刻机金字塔最顶尖的企业,结束了日本光刻机的辉煌。如今看来,悲剧可能会再次上演!
正是如此,在荷兰ASML亮明对中国的态度后,日媒才发现自己上当了!