国产EUV曙光初现 上海光机以固体激光器为驱动光源的LPP-EUV光源实验平台

高旭的世界 2025-03-30 10:27:22

国产EUV曙光初现 上海光机以固体激光器为驱动光源的LPP-EUV光源实验平台，用1um波长激光撞击锡液滴，产生的13.5nm极紫外光。 而ASML是通快的重复频率50kHz、功率21.5kW的CO2激发光产生250W稳定的EUV光输出。美国Cymer提供并控制锡金属液滴。 2011年，上海光机所制得13.5nm极紫外反射镜，其测试反射率为67.8%，接近理论最高值73.7%。 2017年10月24日，羲和装置实现10.3拍瓦激光放大输出，在国际上首次实现300焦耳以上能量水平的宽带激光放大输出，脉冲压缩后宽度为21飞秒。上海光机所“羲和激光装置”项目攻关团队，承担了高能重频激光系统、中红外光电DK、新一代EUV-LPP光源等需求，开展大尺寸高质量掺坛氟化物，以及高热导掺钕氧化物品体研究。 后来上海光机所公开了双脉冲驱动光源，使用掺Tm材料作为激光增益介质。利用高功率2μm波段全固态激光器，替代目前作为驱动光源的CO2激光器。

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