外媒报道，中国自主研发的EUV机器采用激光诱导放电等离子体(LDP)技术，正在华

高旭的世界 2025-03-13 13:21:47

外媒报道，中国自主研发的EUV机器采用激光诱导放电等离子体(LDP)技术，正在华为东莞工厂进行测试。 LDP技术路线，成本高，良率低，而且需要频繁停机，ASML也有LDP，因为没法高产，所以才用LPP。 不知道这个问题国内咋解决的……

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评论列表

静以致远

静以致远

3
2025-03-13 19:05

看到专业分析是成本更低，效率更高，体积更小，但存在稳定性等不佳等问题，要克服有困难

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高旭的世界

高旭的世界

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