清华大学花费94930640元人民币采购日本90nm分辨率光刻机，可是明明上海微电都能生产55nm纳米，为啥不支持国货而要舍近求远呢？ 8月1日，在CCGP网站上发布了《清华大学扫描步进式光刻机成交公告》，采购了一台产自日本佳能的FPA-6300ES6a扫描步进式光刻机，而据网上查询的资料，这台光刻机的分辨率为90nm，在国内其实已经有平替产品，就是不知道是不是不能满足清华大学的科研需求，还是芯片生产质量达不到侵华大学的要求？ 而据9月9日工信息部印发《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024年版）》的通知显示，分辨率≤65nm，套刻≤8nm的国产氟化氩光刻机已经市场化生产。 需要指出的是，目前在国内涌现了一大批光刻机生产厂家，如上海微电、福晶科技、蓝英装备、张江高科等等，相信再经过几年的追赶，中国的芯片生产一定能追赶上ASML，甚至实现弯道超车！