#光刻机# 如果说我们就按照这个光刻机的分辨率是65nm光学分辨率的话， 那么应该不是浸润式的光刻机了，是普通193nm 光刻机。ASML的是38nm。
套刻精度8nm的话， 那么用上了SADP可能满足也就是ASML DUV的水平，大约光学分辨率40nm附近 满足MMP 大于80nm的工艺。
那么大致上可以做到台积电28nm 这个节点的样子吧。 台积电的N20 和Intel 的22nm FinFET 就有问题了。
#光刻机#如果说我们就按照这个光刻机的分辨率是65nm光学分辨率的话，那么应
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