2024年第42届“沃纳·冯·西门子未来之环”将授予蔡司和通快的2纳米EUV光刻光学系统开发团队！

沃纳·冯·西门子未来之环

“沃纳·冯·西门子未来之环”大奖被认为是德国科技最高奖项，授予那些拥有显著先进科学技术成就或通过其表现开辟新道路的研究人员。

ASML的2纳米EUV光刻机

德国蔡司光学的彼得·库尔茨博士和德国通快激光的迈克尔·科斯特尔斯博士将代表他们各自的团队领取荣誉！

德国蔡司光学的彼得·库尔茨博士和德国通快激光的迈克尔·科斯特尔斯博士将代表他们各自的团队领取荣誉！

众所周知，2023年年底，搭载德国蔡司EUV光学系统、德国通快激光器系统的第一台2纳米EUV光刻机被送往美国英特尔工厂。

2024年，英特尔、阿斯麦-IMEC联合实验室的2纳米EUV光刻机均已经开始打印图案。三星、台积电的2纳米EUV光刻机也即将到位，这一切背后，都离不开德国工业巨头的贡献：

蔡司光学制造的庞大、复杂、高精EUV光学系统，以及通快激光的高能、高稳定、高重频激光器。

2纳米EUV光刻机，把半导体工业带到了一个崭新的高度，其本身代表了人类工业生产力的最高水平，因此，获得德国工业技术最高奖，实至名归！