法律分析：拆迁补偿款的支付程序主要是按照规定程序依次向相关当事人进行支付。

法律依据：

1.《城市房屋拆迁管理条例》第二十五条拆迁补偿费支付程序应当依次向拆迁人员、拆迁用房业主或承租人及其他利害关系人进行支付。

2.《城市房屋拆迁管理条例》第二十六条拆迁补偿费的支付应当在法定期限内完成。

3.《城市房屋拆迁管理条例》第二十七条拆迁补偿费的支付程序应当公开、公正、透明。

综上所述，拆迁补偿款的支付程序是依照相关法律法规进行规范的。拆迁单位应当按照法定程序、法定期限向相关当事人进行支付，并且应当保证程序公开、公正、透明。