国产自主研发T150A光刻胶,极限分辨率达120nm,开创国内新局面

徐十一 2024-10-16 17:28:47

今天,中国光谷官方公众号宣布了一个激动人心的消息:在半导体专用光刻胶领域,光谷企业实现了重大突破。

武汉太紫微光电科技有限公司,作为光谷内的一家领先企业,近日推出了一款名为T150 A的光刻胶产品。这款产品通过了严格的半导体工艺量产验证,并实现了配方设计的完全自主化,标志着国内在半导体光刻制造领域的一个新纪元即将到来。

据了解,该产品对标的是国际上主流KrF光刻胶系列,其在实际应用中展现出了极高的性能指标。T150 A的极限分辨率达到了120nm,在纳米级别的图形刻画上具有更高的精确度。 同时,它的工艺宽容度更大,稳定性更高,坚膜后的烘留膜率也表现出色,这对于后道刻蚀工艺来说极为友好。

更值得一提的是,通过对密集图形的刻蚀测试发现,使用T150 A光刻胶后,下层介质的侧壁垂直度表现卓越。这不仅体现了产品的高精度特性,还进一步证明了其在实际应用中的可靠性和优越性。

对于这一成就,太紫微公司的企业负责人、英国皇家化学会会员、华中科技大学教授朱明强教授表示:“从原材料开发起步,到最终获得具有自主知识产权的配方技术,这只是一个开始。我们团队将继续努力,开发出一系列适用于不同场景的KrF与ArF光刻胶,为国内相关产业带来新的惊喜。”

随着科技的进步和市场的需求不断增长,T150 A光刻胶的应用前景无疑是广阔的。它不仅有望打破国外技术垄断,提升我国在半导体领域的自主竞争力,还将促进整个产业链的升级换代。

在这一背景下,光谷企业的这一突破不仅是对自身技术创新能力的肯定,更是对国家科技实力的一次展示。同时也将为全球半导体市场的多元化发展贡献中国力量。

太紫微公司及其团队在半导体光刻胶领域取得的成就,不仅是对企业自身实力的证明,也是对中国科技创新能力的高度认可。

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