2009-2015年，哈工大参与国家科技重大专项02专项课题--放电等离子体极紫

高旭的世界 2025-03-24 14:25:07

2009-2015年，哈工大参与国家科技重大专项02专项课题--放电等离子体极紫外光源技术研究。赵永蓬教授是毛细管放电DPP EUV项目的主要负责人。徐强博士参与了DPP系统的主要研究。 2023年3月7日，哈工大的真空用超高精度激光干涉仪成功初试，可用于双工件台。 2024年5月，上光所高功率激光物理联合实验室张军勇、哈工大赵永蓬和上海理工大学詹其文，首次完成EUV和软x射线的结构涡旋光调控与实验验证。 2024年12月30日，哈工大宣布赵永蓬教授团队突破了13.5纳米的极紫外光源的技术。

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