网传正在测试的自主研发的极紫外光刻设备采用LDP（激光诱导放电等离子体）技术，不

尘封说科技 2025-03-09 00:35:06

网传正在测试的自主研发的极紫外光刻设备采用LDP（激光诱导放电等离子体）技术，不同于ASML采用的LPP（激光等离子体）技术。科普一下:LDP是一种无掩模光刻技术，直接通过聚焦的激光束在光刻胶上绘制图形，无需传统光刻中的掩模版。而LPP是极紫外光刻中的核心光源技术，通过高功率激光轰击金属锡（Sn）靶材，产生高温等离子体并辐射出。虽然LDP与LPP两种不同的技术概念各有优势，但总体来说，LPP更先进。

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