设在丽水经济技术开发区企业的实验室,被评定为“国家认可实验室”!11月初,丽水经济技术开发区半导体企业浙江珏芯微电子有限公司董事长毛剑宏惊喜地收到中国合格评定国家认可委员会(CNAS)通知,公司的制冷红外探测器实验室获得国家认可实验室证书。“接下来,我们可以按照国家及国际认可准则开展技术服务,实验数据、检测报告具有国内国际权威性、互认性和公信力。”
“这不仅可以为周边上下游企业提供优质技术服务,大大降低时间和人力成本,也进一步完善了丽水经开区特色半导体产业体系。”丽水经开区党工委书记、管委会主任刘志伟如是说。
近年来,丽水经开区铆足“从无到有”的开拓进取精神,抢抓国家集成电路产业发展窗口机遇,“无中生有”培育形成了特色半导体产业集群。经过五年的努力,累计落地项目41个,总投资超700亿元,形成“一园一链两基地”发展格局,打造了“迁不走”的特色半导体产业生态,先后入选浙江省“万亩千亿”新产业平台培育名单,纳入浙江省集成电路产业发展规划等。
选准赛道:首创产业链生态丽水模式
2019年6月,珏芯微电子作为首家半导体企业,正式落户丽水经开区。
企业生产一台红外探测器的价格是40万元。这么一家发展前景广阔的半导体企业,为何会落户丽水?在毛剑宏看来,是因为“快”,政府办事效率高。
“其他地方落户芯片公司一般需要两到三年,部分园区甚至要五年之久,而丽水‘验收辅导、联合验收、竣工即备案、竣工即交证、全程帮代办’的新型工作模式,大大提高了企业的落地速度。”毛剑宏回忆说,丽水经开区主要领导带着一支精干团队,赶往上海丽恒光微电子科技有限公司招商的场景仍历历在目,丽水经开区招商团队“对答如流”“有求必应”,让他产生了浓厚的兴趣。
最后经过深入考察,毛剑宏决定在丽水经开区注册成立浙江珏芯微电子有限公司,落地“光电探测器特种芯片晶圆制造项目”。
珏芯微电子董事长毛剑宏带领科研团队于2019年6月正式入驻丽水经开区,目前已实现“单晶拉制、外延生长、芯片制造、封装测试、成品探测器生产”全链条核心技术100%自主可控,产品主要技术指标达到国际先进水平。2023年,珏芯微电子研发的高温制冷红外探测器获得由科技部主办的“全国颠覆性技术创新大赛”最高奖,实现了丽水市在全国唯一颠覆性技术专业领域“历史性重大突破”。
合成革、滚动功能部件是丽水经开区的传统支柱产业。随着传统制造业改造提升的需求愈发强烈,从2019年开始,丽水经开区在传统产业转型升级的基础上,着手布局特色半导体产业,以寻找经济新增长点。
从“0”到“1”绝不是一件容易的事。没有基础、没有参考、没有模板,丽水经开区如何快速破题?迎难而上,是丽水经开区的魄力,也是丽水的底气。在刘志伟看来,丽水发展半导体产业有其自身优势:从发展背景来看,当前国内长三角地区已经具有较好的半导体产业集群基础,可以直接辐射到丽水;从产业发展要求来看,半导体生产制造过程需要非常清洁的环境,这对于“秀山丽水”来说是一个不可错过的发展机会。
为了“选准赛道”,丽水经开区跑遍全国各地学习“取经”,与中国科学院半导体研究所、第三代半导体产业技术创新战略联盟、复旦大学等国内顶尖的技术团队和科研院所反复对接、碰撞思想、寻求良策。
时值全省各地都在瞄准新兴产业、未来产业,聚力打造“万亩千亿”新产业平台,在充分考虑丽水的资源禀赋、区位优势、产业基础等因素后,丽水经开区明确了差异化发展的路线,即以打造特色半导体“万亩千亿”新产业平台为抓手,形成一条以硅基材料为主的功率器件半导体产业链。
方向明确,奔跑有力。丽水经开区通过“双招双引”战略性先导工程,举全区之力招引优质的半导体项目。
第一个、第二个、第三个……近年来,丽水经开区致力于打造“浙南硅谷”的高端布局,“无中生有”布局特色半导体产业,形成了紧密协同的集聚发展态势和开放包容富有活力的产业链生态,业内称之为“Smart-IDM”丽水模式。
一般而言,传统的IDM模式半导体产业是集芯片设计、制造、封装、测试等多产业环节于一体,一家公司就拥有半导体全流程生产能力。但在传统的IDM模式下,仅仅是引进一家企业就需要大额资金作为支撑,这对于还处在发展初期的丽水经开区来说,显然并不适用。
丽水经开区根据自身条件,在借鉴传统IDM模式上,在全省首创“Smart-IDM”模式,即在一定区域范围内引入各环节独立又相互关联的企业,科学绘制涵盖芯片设计、制造、封测等全链条的半导体产业思维导图,按图索骥招引各环节“小而精、小而专”的市场主体。
该发展模式注重构建“各美其美、美美与共”的产业生态圈,既解决了丽水资金支撑难的困境,又将传统功率半导体产业发展模式的优势合为一体。在政府的引导下,产业链上下游公司作为关联又独立的主体,既相互协作,各自找到成长增值空间,在丽水经开区内形成产业集聚。同时,又拥有各自独立优势,保持独立运营、自主开发产品、接受市场竞争,更具灵活性。
“白手起家”的丽水,尽管锁定了特色赛道,却面临着产业基础薄弱、科技支撑乏力、专业人才紧缺等难题。为此,丽水经开区创新“链长+院长+校长+行长”的“四长”协同机制,推动特色半导体产业不断发展壮大。
在具体工作中,“链长”根据“Smart-IDM”模式,进行精准招商和并联招商,为企业精准匹配上下游供应链,并将其规划至统一区块,节约企业生产经营成本。在丽水经开区,由晶睿电子、广芯微电子、芯微泰克等企业构成的以硅基材料为基础的特色半导体全产业链,便是由以“链长”为主的招商队伍共同促成的。
在招引半导体企业同时,丽水经开区按照“引产业必引科研机构”思路,聘请中国科学院院士褚君浩作为产业“首席科学家”,靶向设立院士工作站,引进中科院半导体研究所、复旦大学光电研究院、杭州电子科技大学丽水研究院等科研院所。“院长”牵头领办攻坚清单,帮助企业攻克难题,为丽水特色半导体“万亩千亿”新产业平台提供强有力的智力支撑。
在招商时,丽水经开区带着可调用资金资源的“行长”去招商,创新运用“多维基金+银行资本”模式,当场为招引项目定制资金拼盘方案,放大“投贷联动”作用,破解项目融资难题,让半导体企业顺利落地。
丽水经开区特色半导体产业的发展也离不开工匠型人才。全国技工院校首家全产业链半导体工匠学院在位于丽水经开区的丽水技师学院成立,每年招录半导体专业学生100人以上;丽水学院设立了半导体产业学院,丽水职业技术学院开设半导体专业班,满足企业竣工就有用工,学生毕业就能就业的需求。
可以说,推进特色半导体产业集群建设,丽水经开区找准了赛道,并积累形成了深厚的产业发展基础。截至目前,丽水经开区已落地半导体产业项目41个,总投资超700亿元,初步形成了以中欣晶圆、同创特材等行业龙头企业为引领,以珏芯微电子、晶睿电子等重点企业为基础的特色半导体产业集群。
精准发力:奋力打造外延片、超高纯钽两大基地
日前,在浙江晶睿电子科技有限公司,新一批SOI(绝缘体上硅)完成出货,发往下游半导体企业用于生产传感器。
SOI是一种具有独特结构和性能优势的半导体材料,其通过将一层薄薄的绝缘层嵌入到硅基底中,实现了器件性能的大幅提升。自问世以来,SOI材料在多个领域得到了广泛应用,尤其在集成电路和微电子领域,其独特的低功耗、高集成度以及优异的性能稳定性受到了业界的广泛认可。
据晶睿电子董事长张峰介绍,近年来,随着汽车电子、移动通信以及人工智能技术的发展,SOI材料需求呈现快速上升趋势。去年,晶睿电子进入SOI材料这个新赛道,经过长时间的研发、设备调试,目前已正式进入量产阶段,极大解决了国内传感器生产所需要的原材料需求。“目前SOI订单达到每月1000片左右,预计明年可实现每月5000片以上。”
产业工人在检查设备
张峰是中国科学院上海冶金所材料物理专业博士,在半导体材料行业深耕多年,曾主持国家科技重大专项“02专项”。然而,他并没有满足于个人的成就。2020年前后,他带领团队前往国内多地考察,得知丽水经开区形成了比较完善的半导体产业生态,他辗转前来,亲身感受到当地相关部门务实高效的政务服务后,最终决定将电子晶圆片和外延片制造项目落地丽水经开区。
晶睿电子项目总投资55亿元,2020年8月土地摘牌、10月开工建设,2021年7月投产,并实现当年盈利。有这么几个细节,使得张峰对丽水经开区重商亲商的印象尤为深刻:2020年8月土地摘牌后,丽水经开区相关部门立即协调“桩机先行”,同年10月厂房建设破土动工;电力审批流程较多,丽水经开区专门组织人员为企业服务,让这一环节至少提前一个月完成目标。“时间就是金钱,高效的办事效率意味着能够更快地推进项目,减少不必要的延误,为企业的快速发展提供了有力保障。”张峰感慨道。
被丽水经开区的营商环境所打动,晶睿电子“转换角色、以商招商”引荐广芯微电子、芯微泰克等“兄弟”企业,结伴组团落地丽水经开区。目前,晶睿电子与广芯微电子、旺荣半导体、芯微泰克以及浙江丽隽等企业,建立了“芯片材料、装备、设计、制造、封测、应用”的全产业链体系。张峰说,这种集聚效应有助于吸引更多的人才和资本,进一步推动丽水经开区半导体产业的壮大。
“未来,公司将紧扣硅外延、智能感知应用材料等领域,不断扩大生产规模,做精做优产品,更好地服务国内芯片市场。”看到公司发展得越来越好,张峰对未来一段时间的发展思路进行了谋划。
企业技术人员检测芯片产品
晶睿电子的电子晶圆片和外延片制造项目是丽水经开区在打造全国外延片主要研发生产基地过程中的重要一环。在丽水经开区半导体芯片产业园展厅,有一块巨大的产业布局沙盘,上面浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司、浙江晶睿电子科技有限公司等一批半导体企业被作了重点标注。其中,中欣晶圆是国内规模最大的半导体大晶圆片生产商之一。
总投资40亿元的浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司硅片外延项目是FerroTec(中国)在丽水经开区投资的第一个高端半导体战略投资项目,于2021年11月17日开工奠基,仅用一年的时间便竣工投产。
丽水“独特的生态环境和良好营商环境”的叠加效应,让FerroTec(中国)多次选择丽水,把总投资120亿元的富乐德半导体项目落到丽水经开区,还布局了传感技术等配套项目。
随着这些企业相继落户,丽水经开区在外延片制造领域的生产技术达到了国际先进水平。
除了打造全国外延片主要研发生产基地,丽水经开区还将目标瞄准了世界级超高纯钽材料生产基地。钽金属是国家重要的战略资源,是超大规模集成电路制造中不可少的关键性材料。此前,全球应用于高端芯片制造用超高纯钽材技术被美国和日本垄断,我国完全依赖进口。
一直以来,丽水经开区紧盯“大好高”半导体项目,强化以商招商、产业链招商、基金招商等模式,奋力打好“招大引强”攻坚战。宁波江丰电子材料股份有限公司与丽水经开区合作就是丽水经开区精准招商的成果。
江丰电子专业从事超大规模集成电路制造用超高纯金属材料及溅射靶材的研发生产,是科技部、发改委及工信部重点扶持的高新技术企业,产品已覆盖Al、Ti、Ta、Cu等多种金属材料,在超高纯金属材料及溅射靶材领域国内市场份额第一,全球市场份额第二。
同创特材是江丰电子与丽水经开区结缘的第一个项目。2020年,同创(丽水)超大规模集成电路制造用超高纯钽项目落地丽水,是国内最大超高纯钽材料生产基地,可实现年产400吨高纯金属溅射靶材的生产能力。该项目突破了超高纯钽提纯、电子束熔炼及微观组织控制等核心技术难关,拥有完整的自主知识产权,荣获2020年度国家技术发明二等奖,填补了国内空白,实现了制造装备的完全国产化。项目投产以来,连续三年产值大幅提高,从2021年的4154万元,跃升至2022、2023两年均达5亿元以上。
江丰电子投资的第二个项目是睿昇半导体集成电路制造设备用关键零部件产业化项目,2022年落地丽水经开区,主要建设集成电路大型溅射设备零部件生产线,生产传输平台、反应腔、传输腔、焊接反应腔等产品。建成达产后,可实现年产6000套集成电路制造设备用零部件的生产能力。
2022年,江丰电子再次与丽水经开区合作——浙江创欣新材料有限公司投资的“年产4000吨高纯钽铌新材料绿色制造”项目计划建设高纯钽铌新材料生产线,打造从钽矿石到最终高纯钽靶材的全产业链。
半导体企业生产线
中国半导体行业协会集成电路分会理事长、国家科技重大专项“02专项”技术总师叶甜春认为,丽水的“钽”项目将结束我国对于此种材料长期依赖进口的局面。
把握关键:以营商软环境凝聚发展硬实力
招商引资拼的是实力,吸引客商靠的是服务。这实力不仅仅是区位优势和环境质量,更重要的是丽水经开区以更加开放的姿态,尊商重商亲商惠商,以及提供全生命周期的优质服务,全力为企业和客商投资兴业提供优质的营商环境。
“从递交规划资料到开工许可证的办理,再到最后的开工,我们只用了不到一个月的时间。这样的速度,在以前简直是不敢想象的。”浙江联芯半导体技术有限公司负责人义岚回忆起在丽水经开区的创业历程,脸上洋溢着笑容。
义岚是一位在半导体行业深耕多年的企业家。在江苏成功创立母公司后,他决定将发展的目光投向丽水。谈及选择丽水经开区的缘由,义岚感慨道:“我之所以选择丽水,是因为这里的产业政策协同性很强,半导体产业链发展也相对完善,政府给予了大力扶持。”
半导体芯片产业园
地处浙西南山区,丽水经开区在招引高端项目方面并不具备先天优势。在中欣晶圆、同创特材、正帆科技等一批企业的口中,选择落地丽水经开区的N个理由中,总绕不开优越的营商生态。
中欣晶圆硅片外延项目、富乐德半导体产业项目、富乐德传感技术建设项目,FerroTec(中国)在丽水经开区三年连投三个大项目,FerroTec(中国)董事局主席贺贤汉对扎根丽水大发展信心满满。“这样的‘丽水速度’对半导体行业来说是从来没有过的,公司与丽水的‘双向奔赴’已经迈进一个新的阶段。”
正帆科技有限公司总部位于上海,专门从事半导体照明相关产品的研发、生产。受丽水经开区丰富的资源优势以及优质高效的营商环境所吸引,2021年,正帆科技(丽水)有限公司特种气体生产项目落地丽水经开区,成为丽水首家为半导体企业提供高纯气体配套供应的企业。正帆科技(丽水)负责人朱丹表示,今年底,公司将会正式竣工投产。
为了更好地服务半导体企业,丽水经开区创新企业投资项目“四快联动”服务机制,以项目“快招商、快落地、快建设、快达产”为目标,推行“拿地即开工、拿地即通电、政策等企业、净地等项目、全程免费代办、管家式服务”等一揽子专业服务和要素保障方案;建设“共享变电站”,针对半导体超高超宽超大型设备开通“高速绿色通道”,为半导体项目建设保驾护航。
“广芯微电子项目从打桩到首台设备进场历时316天,首台设备进场到通线仅仅145天,离不开丽水经开区给予广芯微电子全过程、保姆式、高效率的支持和服务。”浙江广芯微电子有限公司董事长谢刚表示,当初落户丽水经开区,最大的原因就是丽水经开区为企业服务的效率与速度。
丽水经开区还大力推进基金招商、创新“多维基金+银行资本”模式,利用绿色产业基金、“丽湖”山海协作基金、共富基金等参与半导体项目招商,以产业基金进一步撬动社会资本,放大“投贷联动”作用,带动省国资、国企、银行、社会资本共同投资丽水的半导体项目;广泛开展产业链招商、以商招商,已形成以上市公司资本为纽带,以集成电路材料及功率器件为重点的多条产业链。
此外,丽水经开区专门成立投资促进部招商三局,重点开展半导体产业招商,把好项目引进关。作为连接丽水经开区与落地企业之间的中间环节,丽水经开区投资促进部对落地项目开展促投促建、培育服务等工作,切实解决项目落地与企业发展遇到的各种问题。
“招商过程是政府部门与企业需求达成平衡点的过程。因此,招商三局尽可能了解企业需求,向半导体企业讲解丽水经开区项目落地政策等信息。”丽水经开区投资促进部招商三局局长毛亚云表示,在项目建设、投产阶段,丽水经开区成立龙江产业平台,为企业提供全方位、“保姆式”服务,让企业生产经营无忧。
随着一个又一个项目的高效落地,生根发芽,经开人开创的“丽水速度”,也成为丽水招引更多“大好高”项目的“制胜法宝”。“企业的生长需要适合的‘土壤’,丽水经开区的支持与鼓励就是最好的‘土壤’,这也是江丰电子三度选择丽水经开区的原因。”江丰电子董事长姚力军道出了自己的心声。
“丽水之芯,链接世界。”刘志伟表示,未来,丽水经开区将紧扣所选“赛道”,坚定不移走下去。持续发挥功率器件领域的特色优势,加大力度招引芯片设计、封装、测试等企业,加速产业集聚;夯实“一园一链两基地”发展格局,推进丽水特色半导体产业发展向更高水平迈进;对接头部企业布局新质生产力,瞄准光电显示、装备零部件等领域不断探索实践,到2030年,真正实现丽水特色半导体产业“万亩千亿”发展目标!