光刻机有成千上万个零部件，但光刻机光源是最关键的核心部件，能与上海微电子合作光源，可想英诺激光的实力，涨停的腾景科技的合分束器跟英诺激光的光源比，根本不是一个量级的。
光刻机有成千上万个零部件，但光刻机光源是最关键的核心部件，能与上海微电子合作光源
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