上海微电子产业链：
股权重组：海立股份（母公司持股上海微电子27.05%）、华建集团（母公司持股上海微电子11.19%）、张江高科（子公司张江浩成持股9.08%）
零部件：英诺激光（光刻机光源，属于光刻机最核心且单价值最高的零部件）、茂莱光学（光刻机镜头）、福晶科技（光刻机晶体）、腾景科技（光刻机合分束器）、大族激光（光刻机整机）
上海微电子产业链：股权重组：海立股份（母公司持股上海微电子27.05%）、华建集
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