除了上海微电子五大天王（上海电气、华建集团、海立股份、电气风电、张江高科）继续以推土机式上涨外，光刻机零部件最近也开始大涨，国内光刻机零部件主要上市公司：茂莱光学（光刻机镜头）、英诺激光（光刻机光源）、福晶科技（光刻机晶体）、腾景科技（光刻机合分束器）、大族激光（光刻机整机）。
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