牛啤,工信部公布了重大技术装备推广应用目录,我去看了下是真的,里面出现了氟化氩#光刻机#,分辨率已经小于等于65nm,套刻小于等于8nm,虽说和国外光刻机相比还是有挺大差距,不过一步一步来嘛,差距总是会缩小的,牛不牛[笑而不语]
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