精密光学平面

光学平面图显示的内容

当光学平面的抛光表面与待测试表面接触时，当用单色光观察时，将形成暗带和亮带。这些条纹被称为干涉条纹，它们的形状可以直观地表示被测表面的平整度。表面平整度由干涉条纹之间的曲线量和间距表示。直线、平行和均匀间隔的干涉条纹表示工作表面的平坦度等于或高于参考表面的平坦性。

应用

抛光表面的表面平坦度的测量可以通过比较工作表面和光学平面的表面之间的变化来直观地确定。光学平面是多用途的光学组件，用于许多应用，例如：量块磨损和精度的检查，以及各种组件的测试，包括窗口片、棱镜、滤光片、反射镜等。它们也可以用作非常平坦的光学窗口，以满足苛刻的干涉测量要求。

光学平面的工作原理

图1：光学平面的工作原理

光学平面利用干涉的特性在期望的表面上表现出平坦度。当光学平面（也称为测试面）和工作表面接触放置时，形成气楔。平面和工作表面之间不接触的区域形成该气楔。气楔厚度的变化将决定干涉带的形状和方向。干涉带显示的曲率量可用于确定表面的平坦度。如果气楔太大，那么可能会出现许多紧密间隔的线条，从而难以分析形成的图案。简单地向光学平面的顶部施加压力就可以缓解这个问题。

通过制作两条平行的假想线来确定表面的任何特定区域的平面度；一个在任何一个边缘的末端之间，另一个在同一边缘的顶部。位于线之间的条纹的数量可以用来确定平坦度。单色光用于创建用于观看的鲜明对比度，并且用于指定作为单个波长的函数的平坦度。

应使用哪种精度-λ/4，λ/10，λ/20

这是一个常见的问题，答案取决于测试内容。如果正在测试的表面比λ/4更平坦，则需要更精确的平面来显示干涉图的变化。在这种情况下，λ/4平面将显示出平行的直线，但λ/10或λ/20平面将在条纹中显示出足够的曲率，以准确测量表面。

应该使用什么材料-熔融二氧化硅或ZERODUR®？

熔融二氧化硅：我们使用透明的光学熔融二氧化硅，其热膨胀非常低，每°C为0.55 x 10-6。熔融二氧化硅具有高度耐用和良好的耐磨性，是高磨损应用的良好选择。提供完整的机械、热力、电气和化学规格。

ZERODUR®：黄色ZERODUR®是由肖特研究实验室开发的透明玻璃陶瓷。ZERODUR®具有极低的热膨胀，每°C±0.10 x 10-6。在温度波动引起关注的应用中，ZERODUR®提供了无与伦比的热稳定性。提供完整的机械、热力、电气和化学规格。

内部干涉测试

使用我们的Zygo GPI-XP干涉仪测试每个光学平面和平面精密反射镜的平面度误差。借助干涉仪和其他精密测试设备，我们能够提供并确保最高质量的光学器件。

重新校准

我们的光学实验室可以收费重新认证直径达4英寸（101.6毫米）的平面。我们只能重新认证从我们这里购买的平面。有关我们的光学平面重新认证的详细信息，请联系我们的销售部门。