众所周知,美西方普遍认为,中国造不出尖端的光刻机。就连荷兰ASML公司的CEO也曾嚣张的表态,就算将EUV光刻机的图纸公开,中国也造不出来。面对如此赤裸裸的挑衅和轻视,我国并没有多说半句废话,在过去这些年,举国之力,就是希望可以加快中国半导体产业的进步和发展。
正所谓“人定胜天”,通过中国科技产业的共同努力,工信部传来了好消息,中国已经具备生产先进制程光刻机的能力了。具体地,目前我国已经拥有了自主研发的高级光刻机,工信部提到了两款国产DUV光刻机,分别是氟化氪(KrF)光刻机以及氟化氩(ArF)光刻机。
那么问题来了,这两款国产光刻机能够达到多少制程呢?根据工信部透露,氟化氪(KrF)光刻机的分辨率≤110nm,套刻精度≤25nm。而氟化氩(ArF)光刻机的分辨率则≤65nm,套刻精度≤8nm。怎么理解“分辨率”和“套刻精度”呢?
从理论上来说,分辨率和制程的关系在最理想状态下,可以达到“制程=1/4分辨率”的水平。以氟化氩(ArF)光刻机来说,其分辨率≤65nm,也就是说,它的制程最高可以达到16nm。而套刻值得就是多次曝光的误差。也就是说,咱们目前光刻机完全可以做到28nm,实现成熟芯片的自给自足。
别看28nm距离目前半导体产业尖端制程的3nm/2nm/1nm还有很大的差距,但国产DUV光刻机研制成功,就已经证明了,中国具备自主研发光刻机的实力,这也彻底打破了美西方在尖端科技领域的垄断。要知道,无论是荷兰ASML公司也好,日韩半导体巨头也好,都没法独立完成光刻机的研发和制造,就冲这一点,中国的科研实力就不容小觑。
有意思的是,工信部为何现在官宣这个好消息呢?可能很多小伙伴也察觉到了,这是对荷兰ASML公司宣布停止维护已售光刻机后的一次强硬反击。而不止荷兰,美、日、韩等半导体相关企业也受到了牵连。
从多家老美光刻机相关部件公司的财报来看,中国市场至关重要,来自中国市场的营收占据其总营收的30%-40%。日、韩芯片企业也因为不能继续向华供应芯片、光刻机设备等,业绩出现了暴跌,很显然,美“盟友”都开始坐不住了!
毫无疑问,拜登所谓的“小院高墙”打压策略并未能将华为等中国科技企业困住,反而激发了中国科技企业奋发图强的心,斗志昂扬,势不可挡。不得不承认,在美的激励下,中国科技产业在短短几年时间里快速腾飞,取得了惊人的进步和突破,这也应了一句俗话,塞翁失马焉知非福?
面对美西方的叫嚣和嘲讽,中国科技产业没有半句废话,用技术说话。很显然,科技霸权时代已经成为过去了,中国科技产业的崛起是必然,让我们拭目以待吧!
这是以一国之力研制生产的光刻机。很不错了。28纳米出来了,距离更先进的也就不远了。
接近阿斯迈06年水平了,能够生产65nm芯片了,再接再厉尽快做出浸没式光刻机。
加油
光刻机水平是不可能官宣的,现在中国光刻机做到什么水平,你个沙雕自霉体需要知道吗?其实中国各领域都一样,叫闷声大发财,我有我就是不说,什么专利,认证之类的'我都可没有产品,我违反什么。28纳米随便说,老白姓知道中国最先进的是多少,1 10纳米,8纳米?都有可能。