真空计校准的含义及实现

真空网 2024-11-21 09:37:36

真空计校准在真空测量领域占据着至关重要的地位,它是整个真空测量研究与发展的关键支撑工具。通过校准,不仅能将现有的相对真空计统一于可靠的标准之下,还能对处于发展阶段的真空计性能展开深入研究。

所谓 “真空计校准”,其实质是对相对真空计进行 “刻度” 操作。需要注意的是,真空计刻度是在特定条件下针对特定种类气体开展的,由此获得校准系数或刻度曲线。一旦气体种类改变或者工作条件发生变化,原有的校准曲线便不再适用,必须重新校准。即使是同一台测量仪器,若更换了规管,其校准曲线也会相应改变。由此可见,对相对真空计进行校准不仅非常必要,而且需要定期开展,否则可能会产生超出允许范围的测量误差。校准是针对真空计整体而言的,既涵盖了作为一次仪表的真空规管,也包括作为二次仪表的电子线路。通常情况下,二者会一起进行校准,不过分别对真空计规管和电子线路进行校准是更为理想的方式。

真空计校准的含义及实现01真空计校准的含义

真空计校准需要具备标准真空计和校准系统,并通过特定方法来实现。

真空标准包括绝对真空计、标准相对真空计(或副标准真空计)以及绝对校准系统。

所有的绝对真空计都可充当真空标准。以绝对真空计为基准,通过对压力衰减后精确计算出的再生低压力作为标准的真空计校准系统被称为绝对校准系统。

例如,膨胀法校准系统运用静力热平衡原理,其理论依据是理想气体的玻意耳定律,这一系统将 U 型管压力计的校准下限延伸至高真空(10⁻⁴ Pa)。稳定性和精度较高的真空计在经过校准后,可作为次级标准,用于对工作真空计进行校准,此类真空计被称作副标准真空计。在计量学范畴内,标准是按照精度等级排列而成的体系。

02真空计校准的实现

1990年5月1日,国家技术监督局批准并开始实施 “真空计量器具检定系统”(JJG2022-89)这一重要标准。

随着现代科技的飞速发展,真空技术领域也取得了显著的进步。当前,真空获得以及真空测量的范围已经有了极大的拓展,从原本的大气压(10⁵ Pa)延伸到了极高真空(< 10⁻¹⁰ Pa)这样一个极为宽广的区间。

然而,在实际的工业生产和科学研究活动中,经过大量实践和统计发现,人们所涉及的压力范围主要集中在 10⁻⁸ ~ 10⁵ Pa 之间。在这个特定的压力区间内,为了保证真空度量值的准确性和一致性,“真空计量器具检定系统” 应运而生。

这个检定系统有着至关重要的作用。它是保障真空度量值准确可靠的关键环节,通过它能够实现真空度量值在不同环节和设备之间的有效传递。具体而言,在真空计量领域,各级真空计时器具的准确性对于整个测量工作至关重要。检定系统就像是一把精准的尺子,为这些真空计时器具提供了统一的衡量标准,能够对各级真空计时器具进行严格的检定。而且需要强调的是,该检定系统主要是针对 10⁻⁸ ~ 10⁵ Pa 这一特定压力范围的。在这个范围内,无论是计量部门用于校准和检测的真空标准装置,还是科研部门在实验过程中使用的真空计,亦或是工业部门在生产环节涉及的真空计量设备,都需要依据这个检定系统来进行检定,以此确保整个工业生产和科学研究过程中真空度量值的精确性和可靠性,避免因真空计量不准确而导致的各种问题,如实验结果偏差、生产质量不稳定等。

0 阅读:2